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关于征集《电子工业用二氯硅烷》、《电子工业用四氯化硅》等两项国家标准征求意见稿修改意见的通知

发布时间:2019年07月29日 09:04:57 信息来源:本站 浏览次数:


全国半导体设备和材料标委会气体分会

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关于征集《电子工业用二氯硅烷》、《电子工业用四氯化硅》等两项国家标准征求意见稿修改意见的通知

 

各位专家、各位委员、气体行业各有关单位:                                                          

根据全国气体标准化技术委员会2018年标准制修订工作进度的安排,现开始征集《电子工业用二氯硅烷》、《 电子工业用四氯化硅》两项国家标准征求稿的修改意见。

请认真阅读附件1~附件4中的征求意见稿、编制说明,填写附件5~附件6中的标准修改意见表,并请于2019年9月25日前将该表反馈至标委会的公用邮箱。

本通知含6个附件:

1、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿;

2、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿编制说明;

3、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿

4、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿编制说明;

5、《电子工业用二氯硅烷》标准修改意见表;

6、《电子工业用四氯化硅》标准修改意见表。

秘书处联系方式:

电话:(028)85964988

  联系人:周朋云

E-mail:859649888@qq.com

 

全国半导体设备和材料标准化技术

委员气体分会秘书处


附件1-电子工业用二氯二氢硅征求意见稿20190727.doc

附件2-电子工业用二氯二氢硅征求意见编制说明20190727.doc

附件3-电子工业用四氯化硅征求意见稿20190727.doc

附件4-电子工业用四氯化硅征求意见稿编制说明20190727.doc

附件5-《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿意见表.doc

附件6-《电子工业用四氯化硅》征求意见稿意见表.doc


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